光栅式测微仪也称光栅测微仪、光栅长度计或光电测长仪，是以光栅副作为测量元件，将线位移量转换为光电信号，经电路处理并以数字显示位移量的一种长度精密测量仪器（摘自JJF 1682-2017）。

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光栅式测微仪是一种接触式精密传感器，今天小编以半导体制造工程、汽车制造工程为例，“图说”光栅式测微仪的测量应用和测量原理。




应用之

半导体制造工程

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半导体制造工程示意图

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辊缝检测


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02


基板厚度的检测


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芯片平行度的检测


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FPD基板的多点检测


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测量压接端子的铆合高度


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复印机部品的平行度检测


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应用之

汽车制造工程

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汽车生产线示意图/点击查看大图




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汽车凸轮轴的位移量测量


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汽车刹车盘的多点测量


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平面度的测量


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高度的测量


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跳动的测量


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加工刀具长度的测量


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用于识别工件


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治具/夹具的测量


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如想了解IP67G级别的耐环境型光栅式测微仪，可以点击 这里 了解。




测量原理






光栅式测微仪采用光电式透射型线性编码器，检测原理如下：


光源(LED)和受光元件(光电二极管)彼此相对，检出器位于主尺和副尺（间距刻度20μm）之间，当光栅尺相对于检测器移动时，透过指示尺窗口的光线强度会不断变化。

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此时，输出两个相位差为90°的同步正弦波信号。然后这些信号被放大后进行电分割（内插），并以0.1μm、0.5μm、1μm和5μm的脉冲输出。因此，光栅式测微仪的主体也可以单独使用。


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官网：https://www.mitutoyo.com.cn/







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